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ZPT-S大理石隔振光学平台

修改时间:2008-08-20 11:16:15 浏览次数:42407次

ZPT-S大理石隔振光学平台

产品特点:

■台面材料采用优质济南青大理石,表面精度高,耐腐蚀性强
■内置精密空气弹簧隔振系统,具备优异的隔振性能,自动调节水平功能
该产品适用于平面度要求高的实验
 
技术指标:
平面度:00级
■固有频率:1.0Hz~1.5Hz
减振效率:x方向<5Hz时:86%~92%    y方向<5Hz时:84%~90%

                 x方向<10Hz时:90%~96%     y方向<10Hz时:88%~93%

■振幅:< 1.0μm
■重复定位精度:±0.05mm
接受客户任意规格定制生产
(1)气浮隔振型          装备地点:舜宇光学科技集团公司                 产品规格:1500*1200*800mm
(2)阻尼隔振型            装备地点:中山大学微电子学院                  产品规格:1500*1200*800mm
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