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武汉中航世纪隔振设备有限公司
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ZPT-S大理石隔振光学平台

修改时间:2008-08-20 11:16:15 浏览次数：45941次

ZPT-S大理石隔振光学平台

产品特点：

■台面材料采用优质济南青大理石，表面精度高，耐腐蚀性强

■内置精密空气弹簧隔振系统，具备优异的隔振性能，自动调节水平功能

■该产品适用于平面度要求高的实验

技术指标：

■平面度：00级
■固有频率：1.0Hz～1.5Hz

■减振效率：x方向＜5Hz时：86%～92% y方向＜5Hz时：84%～90%

x方向＜10Hz时：90%～96% y方向＜10Hz时：88%～93%

■振幅：< 1.0μm
■重复定位精度：±0.05mm

接受客户任意规格定制生产

（1）气浮隔振型装备地点：舜宇光学科技集团公司产品规格：1500*1200*800mm

（2）阻尼隔振型装备地点：中山大学微电子学院产品规格：1500*1200*800mm