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ZPT-F-Y蜂窝气浮隔振光学平台

修改时间:2008-08-20 10:56:00 浏览次数:66499次

ZPT-F-Y蜂窝气浮隔振光学平台

应用领域:

适合于高倍数电子显微镜、扫描探针显微镜、激光干涉仪、激光共聚焦显微镜等领域应用

产品特点:

■中航世纪公司依托于航空工业人员背景研发制造的具有负载能力强、刚性强、稳定性高、隔振效果好的科研级气浮隔振光学平台。

■优异的隔振性能:内置精密空气弹簧隔振系统,具备优秀的固有频率,对多个方向的振动特别是垂直方向有着良好衰减效果,避免外界振动干扰设备仪器精度,提高仪器设备使用精度和使用效率。

自动调节水平功能:放置负载的位置发生变化,平台迅速通过高精度阀门自动调整空气弹簧内部的气压,自动保持水平。气动元器件全部执行德国FESTO产品,标配进口无油压缩机。

台板采用蜂窝芯结构,包括上下面板、隔离杯和蜂窝状芯板;便于实验附件的固定安装,面板采用高导磁不锈钢,表面不生锈,保证了实验室清洁度;隔离杯采用的是拉伸铝冲压成型,可防止噪音在内部产生震荡给实验造成误差,同时能防尘、防水、防止小物品坠落到平台内部,便于清理;内部蜂窝状芯板采用的是梯形薄钢板相互対粘中间并夹有钢板形成蜂巢形状的结构,它能在降低芯板质量的情况下使刚度最大化。

■隔振支撑为优质钢管焊接而成,整体坚固稳定。

工作压力为0.35~0.6Mpa,标准配置调压过滤阀将保证空气弹簧的长期有效工作,用户只需要将气管连接进气口,就能使装置正常发挥隔振功能,气源可通过小型空气压缩机或氮气瓶供给,便于在安静场合使用。

技术指标:

平面度:< 0.05mm/m2

表面粗糙度:< 0.8μm
六角蜂窝芯:纯蜂窝粘结工艺,蜂窝芯密度:250kg/m3
隔离杯:每个孔下面都有一个隔离杯
固有频率;垂直方向:1.0Hz~1.5Hz  水平方向:1.0Hz~1.5Hz
■减振效率:垂直方向<5Hz时:88%~94%    水平方向<5Hz时:86%~92%

             

 

 

 

 

 

 

 

                 垂直方向<10Hz时:92%~98%  水平方向<10Hz时:90%~95%

 

 

 

 

振幅:< 1μm
荷载能力:800kg/m2

重复定位精度:±0.05mm

产品型号:(接受客户任意规格定制生产) 

台面细节图

精密研磨处理

表面平整精度

内核采用粘结蜂窝芯及隔离杯结构

装备地点:香港理工大学生物医学工程跨领域学部       产品规格:3000*1500*800mm

 装备地点:南方科技大学               产品规格:2500*1500*800mm

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